ILA PROBES kapazitiver Wegaufnehmer
Rauscharmes, hochflexibles, in die ILA-Sonde integriertes Silikonkabel (verlässt die Sonde axial)
Beispielanwendungen für ILA-Sonden
- Mikroskopische Fokussierung
- Ausrichtung der Linse
- Profilierung von Teilen
- Neigung von Teilen
- Dicke von Halbleiterwafern
- Piezo-Tischverschiebung
- Messung von Schwingungen
- Laufleistung und Dicke von Computerplatten
- Bremsrotorverformung und -dicke
- Dicke von Blechen
- Fotovoltaik-Wafer
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KontaktTechnische Spezifikationen
| Spezifikationen | Wert |
|---|---|
| Accuracy | 0.05% FS |
| Cable length | 2.44 m to 15.2 m |
| Measurement range | 0.025 to 2.54mm |
| Pressure rating | Standard 200 psig |
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